質(zhì)量流量計(jì)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制,廣泛用于分析測量儀器。其性能指標(biāo)的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準(zhǔn)確度,進(jìn)而影響整機(jī)分析結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
市場上現(xiàn)在所用的氣體質(zhì)量流量計(jì)種類繁多,分為直接式和間接式兩大類,間接式尤以熱式居多,熱式雖然使用較多,但也有其中的缺點(diǎn),下面為大家詳細(xì)介紹一下熱式和差壓式的優(yōu)缺點(diǎn):
熱式與差壓式氣體對比:
熱式氣體/控制器(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量,這種測量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn);可以同時(shí)測量4種參數(shù):氣體的瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓,并且可以同時(shí)顯示和輸出。雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測量氣體的質(zhì)量流量,但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷:長期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移,反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的。而采用差壓原理的氣體/控制器幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移,反應(yīng)速度快,無需預(yù)熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。